ตัวย่อที่ใช้กันทั่วไปสําหรับกิจกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์กรองพัดลม
กระบวนการทํางานหลักคือ:
(1)โดยโปรเซสเซอร์เครื่องปรับอากาศไปยังอากาศ (อากาศบริสุทธิ์) ที่ประมวลผลเป็นจุดสถานะที่ต้องการส่งไปยังกล่องแรงดันคงที่และส่วนผสมของอากาศกลับ จากนั้นหลังจากพัดลมชุดกรองแรงดันโดยตัวกรองประสิทธิภาพสูง (HEPA) หรือตัวกรองอากาศประสิทธิภาพสูงพิเศษ (ULPA) กรองเข้าไปในห้องสะอาด
(2) อากาศเก่าเดิมผ่านพื้นยกหรือแก้มยางส่งกลับไปยังขดลวดแห้งในขดลวดแห้งในการบําบัดเย็น (ร้อน) จากนั้นกลับไปที่เครื่องแรงดันที่ส่งกลับไปยังกล่องแรงดันคงที่ทําให้กระบวนการเสร็จสมบูรณ์
(3) หลังจากการบําบัดเย็น (ร้อน) ในขดลวดแห้งจะถูกส่งกลับไปยังกล่องความดันคงที่โดยการกดกลับซึ่งจะเสร็จสิ้นรอบการกรองอากาศทั้งหมดในห้องสะอาด
ระบบดังกล่าวมักใช้ในสถานที่ที่ต้องการห้องปลอดเชื้อที่เงียบเป็นพิเศษเช่นห้องปลอดเชื้อสําหรับทําเวเฟอร์วงจรรวมขนาดใหญ่จอแสดงผล TFT ฮาร์ดดิสก์โซลิดสเตตและอื่น ๆ
สําหรับผู้ที่ต้องการปรับปรุงการตั้งค่าห้องปลอดเชื้อFKL55 Series พัดลมดูดอากาศพร้อมตัวกรองเป็นทางเลือกที่ยอดเยี่ยม กลุ่มผลิตภัณฑ์นี้มีการกรองและการฟอกอากาศที่เหนือกว่า เพื่อให้มั่นใจว่าห้องปลอดเชื้อของคุณจะปราศจากสิ่งปนเปื้อน คลิกลิงก์เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมและซื้อโดยตรงจากเว็บไซต์ของเรา
คราวนี้เราขอแนะนําคําศัพท์ที่ใช้ในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์:
โรงงานสาธารณูปโภคกลาง CUP
OWW น้ําเสียอินทรีย์
DAHW ระบายของเสียอะโมเนียไฮไดรด์
PAW น้ําเสียกรดฟอสฟอริก
VMB วาล์ว Manifold Box
