ตัวย่อที่ใช้กันทั่วไปสําหรับกิจกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ตัวกรองพัดลมยูนิต
กระบวนการทํางานหลักคือ:
(1) โดยโปรเซสเซอร์เครื่องปรับอากาศไปยังอากาศ (อากาศบริสุทธิ์) ที่ประมวลผลเป็นจุดสถานะที่ต้องการส่งไปยังกล่องแรงดันสถิตและส่วนผสมของอากาศกลับจากนั้นหลังจากพัดลมชุดพัดลมกรองแรงดันโดยตัวกรองประสิทธิภาพสูง (HEPA) หรือตัวกรองอากาศประสิทธิภาพสูงพิเศษ (ULPA) กรองเข้าไปในห้องปลอดเชื้อ
(2) อากาศเก่าเดิมผ่านพื้นยกหรือแก้มยางส่งกลับไปยังขดลวดแห้งในขดลวดแห้งในการบําบัดเย็น (ร้อน) จากนั้นกลับไปยังเครื่องแรงดันส่งกลับไปยังกล่องแรงดันสถิตจะทําให้กระบวนการเสร็จสมบูรณ์
(3) หลังจากการบําบัดเย็น (ร้อน) ในขดลวดแห้ง จะถูกส่งกลับไปที่กล่องแรงดันสถิตโดยเครื่องกดกลับ ซึ่งจะเสร็จสิ้นวงจรการกรองอากาศในห้องสะอาด
ระบบดังกล่าวมักใช้ในสถานที่ที่ต้องการห้องปลอดเชื้อที่เงียบเป็นพิเศษเช่นห้องปลอดเชื้อสําหรับทําเวเฟอร์วงจรรวมขนาดใหญ่จอแสดงผล TFT ฮาร์ดดิสก์โซลิดสเตตและอื่น ๆ
สําหรับผู้ที่ต้องการปรับปรุงการตั้งค่าห้องปลอดเชื้อ FKL55 Series พัดลมดูดอากาศพร้อมตัวกรอง เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยม กลุ่มผลิตภัณฑ์นี้ให้การกรองและการฟอกอากาศที่เหนือกว่า เพื่อให้มั่นใจได้ว่าห้องปลอดเชื้อของคุณยังคงปราศจากสิ่งปนเปื้อน คลิกลิงก์เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมและซื้อโดยตรงจากเว็บไซต์ของเรา
คราวนี้เราจะแนะนําคําศัพท์ที่ใช้ในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์:
โรงงานสาธารณูปโภคกลาง CUP
OWW น้ําเสียอินทรีย์
DAHW ท่อระบายน้ํา Amonia Hydride Waste
PAW กรดฟอสฟอริกน้ําเสีย
กล่องท่อร่วมวาล์ว VMB
