กระบวนการทํางานหลักขององค์กรคือ:
(1) โดยโปรเซสเซอร์เครื่องปรับอากาศจะส่งอากาศ (อากาศสด) เข้าสู่จุดสถานะที่ต้องการ ส่งไปยังกล่องแรงดันสถิตและส่วนผสมอากาศกลับ จากนั้นหลังจากนั้น พัดลมกรองจะถูกอัดด้วยตัวกรองประสิทธิภาพสูง (HEPA) หรือตัวกรองอากาศประสิทธิภาพสูงพิเศษ (ULPA) ที่กรองเข้าสู่ห้องปลอดเชื้อ;
(2) อากาศเก่าเดิมผ่านพื้นยกสูงหรือผนังด้านข้างจะถูกส่งกลับไปยังขดลวดแห้ง จากนั้นในขดลวดแห้งในกระบวนการเย็น (ร้อน) แล้วส่งกลับไปยังเครื่องที่มีแรงดันกลับไปยังกล่องแรงดันสถิต กระบวนการนี้จะเสร็จสมบูรณ์
(3) หลังจากผ่านการบําบัดเย็น (ร้อน) ในขดลวดแห้ง จะถูกส่งกลับไปยังกล่องแรงดันคงที่โดยเครื่องกดอากาศกลับ ซึ่งจะทําให้วงจรการกรองอากาศในห้องปลอดเชื้อเสร็จสมบูรณ์
ระบบนี้มักใช้ในสถานที่ที่ต้องการห้องคลีนรูมที่เงียบเป็นพิเศษ เช่น ห้องคลีนรูมสําหรับผลิตเวเฟอร์วงจรรวมขนาดใหญ่ จอแสดงผล TFT ฮาร์ดดิสก์โซลิดสเตต และอื่น ๆ
สําหรับผู้ที่ต้องการปรับปรุงการตั้งค่าห้องปลอดเชื้อพัดลมดูดอากาศซีรีส์ FKL55 พร้อมตัวกรองเป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยม สายผลิตภัณฑ์นี้มีการกรองและฟอกอากาศที่ยอดเยี่ยม เพื่อให้ห้องปลอดเชื้อของคุณปลอดสารปนเปื้อน คลิกลิงก์เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมและซื้อสินค้าโดยตรงจากเว็บไซต์ของเรา
ครั้งนี้เราจะแนะนําคําศัพท์ที่ใช้ในงานเซมิคอนดักเตอร์:
โรงไฟฟ้าสาธารณูปโภคกลาง CUP
น้ําเสียอินทรีย์ OWW
DAHW Drain ของเสียอะโมเนียไฮไดรด์
น้ําเสียกรดฟอสฟอริก PAW
กล่องท่อร่วมวาล์ว VMB